中科仪国产真空装备龙头的破局之道与产业价值

得“芯”者，得天下。芯片已成为现代世界赖以生存的稀缺资源，作为产业链“隐形基石”的真空装备，其自主可控进程备受瞩目。2026年1月16日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(下称“中科仪”)将接受北交所上市委员会审核。依托中国科学院深厚科研基因，中科仪在洁净真空与超高真空领域开辟出国产替代的广阔赛道，其破局之道背后，更是对国家战略规划的深度赋能。

战略机遇叠加：政策东风护航真空装备国产化

高端装备制造业是国家综合实力的重要标志，真空装备作为半导体晶圆制造、光伏电池生产、航空航天新材料研发等领域的核心支撑，其国产化进程直接关联产业链供应链安全。国家层面早已布局顶层设计，工信部专项扶持政策精准覆盖半导体级真空镀膜设备等关键领域，形成全方位政策支持体系。

政策红利的持续释放，与行业发展的强劲需求形成共振。据GIR调研，2023年全球半导体干式真空泵收入约为1268百万美元，预计到2030年将达到2247百万美元，年复合增长率为8.6%。在这样的战略机遇期，中科仪的上市冲刺，无疑将借助资本力量加速国产真空装备的迭代升级，契合国家高端装备国产化的战略诉求。此次上市，公司拟募资8.25亿元，投向三大核心项目——干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，为技术迭代与产能扩张注入资本动力。

破局之道：科研基因铸就技术壁垒，市场突围验证产业价值

中科仪的破局之路，始于深厚的科研积淀。追溯其根源，公司脱胎于20世纪50年代中国科学院下属的真空科研仪器研制事业单位，70年的技术积累使其成为我国真空技术攻坚的主力军。作为国家高新技术企业，中科仪手握真空技术装备国家工程研究中心等三大国家级研发平台，累计承担13项国家级重大科技专项，斩获6项国家科技进步奖，核心技术“面向集成电路制造领域的无油干式真空泵研发与产业化”更获2023年辽宁省科技进步一等奖，技术实力获国家及地方层面双重认可。

技术创新是中科仪打破海外垄断的核心武器。通过持续自主研发，公司构建起包括无油真空获得、精密加工技术在内的8大核心技术体系，且均已实现大批量产业化应用，技术水平达到国际先进水准。截至2025年6月30日，公司累计拥有发明专利99项，牵头或参与制定13项国家、行业及团体标准，研发投入占比连续多年保持在8%以上，2023-2024年研发投入合计达1.95亿元，为技术创新提供稳定支撑。

市场层面的突围更印证了其技术价值。招股书数据显示，公司目前已成为集成电路产业出货量最大的国产干式真空泵制造企业，累计出货量超2.5万台，2024年国内市占率12.72%，同时是唯一在集成电路先进制程、清洁/中等/苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。业绩表现同样稳健，2022-2024年公司营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元，扣非后净利润分别为6186.11万元、7298.08万元、8787.75万元。其中，干式真空泵业务贡献核心增量，近三年销售收入复合增长率达32.16%，2024年在集成电路领域的销售收入已达6.63亿元。

优质客户结构进一步夯实其行业地位。公司核心客户涵盖晶圆厂如中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、华润微、上海积塔、广州粤芯、青岛芯恩等，半导体设备厂包括北方华创、拓荆科技、中微公司等。同时，产品通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货，产品质量获得国际主流厂商认可。

产业价值：锚定国家战略，筑牢产业链安全屏障

中科仪的发展轨迹，始终与国家战略需求同频共振。在半导体自主可控领域，其干式真空泵产品已满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3D NAND存储器工艺需求，广泛应用于国内主流晶圆制造企业及半导体设备厂商，有效填补了国产半导体核心装备零部件的空白，为我国集成电路产业链自主可控筑牢基础。根据国际半导体行业协会(SEMI)的数据，2024年第一季度中国半导体设备采购额达到125.2亿美元，同比增长113%，显示出强劲的增长势头。中科仪作为国内领先的半导体专用真空设备制造商，其技术突破和市场表现将有助于加速国产替代进程，减少我国半导体产业对海外装备的依赖。

在国家重大科技基础设施建设领域，中科仪更是不可或缺的核心参与者。其前身成功研制的第一台国产分子束外延设备MBE，打破国外长期禁运，至今在科研用MBE设备研制领域仍居于国内领先地位;同时参与多项国家重大科技基础设施建设，是该领域关键真空部件最主要研制单位，为我国基础科学研究提供了关键装备支撑。

从行业发展全局来看，中科仪的崛起不仅推动了真空装备行业的技术进步，更带动了上下游产业链的协同发展。公司上游供应商以沈阳贝瑞科技、沈阳巨石科技等国内企业为主，2024年前五大供应商采购额占比35.23%，形成了本土化的供应链体系。这种产业链协同效应，将进一步提升我国高端装备制造业的整体竞争力，契合国家建设现代化产业体系的战略规划。

结语：资本赋能下的国产替代新征程

即将到来的北交所上会，将为中科仪的发展注入新的资本动力。作为国产真空装备领域的领军企业，中科仪凭借深厚的科研积淀、持续的技术创新和清晰的市场布局，成功走出了一条高端装备国产化的破局之路。在国家战略的指引下，在政策与资本的双重加持下，中科仪未来有望在半导体先进制程装备、新能源真空设备等领域实现更大突破，不仅将提升自身的行业地位，更将为我国高端装备制造业的自主可控、产业链供应链的安全稳定贡献更大力量，其产业价值也将在国家战略的践行中持续凸显。