恒运昌上交所科创板IPO提交注册 拟募集资金14.69亿元

中国上市公司讯 11月14日，上交所官网显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(以下简称“恒运昌”)IPO审核状态变更为“提交注册”。

公司基本情况

业务核心：作为国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等自研产品的研发、生产与销售，还引进真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制核心零部件，同时提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务，围绕等离子体工艺提供整体解决方案。其推出的Aspen系列产品可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平。

客户群体：已具备成熟规模化量产能力，产品批量交付给拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商，是薄膜沉积、刻蚀环节头部设备商的战略级供应商。截至2025年6月30日，与核心客户实现百万级收入的自研产品有38款，千万级收入的自研产品达24款。2023年，公司在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额排名第一。

研发投入与专利：2022-2024年研发投入逐年攀升，分别达2154.21万元、3696.37万元和5528万元，占营收比例均超10%;2025年上半年研发费用4330.84万元，同比增长72.63%。截至报告期末，拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项，还形成了3大基石技术和8大产品化支撑技术。

资质与荣誉：不仅是国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人”企业，还是广东省2024年制造业单项冠军。先后承接3项国家级重大专项课题，拿下中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”等多项荣誉，同时也是中国集成电路零部件创新联盟理事单位。

业绩表现：公司业绩曾呈高速增长态势，2022-2024年营收从1.58亿元增至5.41亿元，复合增长率84.91%;归母净利润从2618.79万元增至1.42亿元，复合增长率131.87%。但2025年业绩大幅下滑，上半年营收同比仅增4.06%，归母净利润同比下滑11.99%，三季度营收同比降幅扩大至27.29%，归母净利润暴跌46.16%，且预计全年营收和扣非净利润将双双下滑。

发行概况

发行规模与股权安排：本次拟公开发行股票数量不超过1693.0559万股，发行后这部分股份占公司总股本的比例不低于25%，且本次公开发行不涉及股东公开发售股份，不会出现原有股东通过此次发行减持股份的情况。

募资额度及调整情况：公司最初拟募集资金15.5亿元，上会前夕对募资方案进行调整，将补充流动资金的额度从2.5亿元缩减至1.69亿元，最终拟募集资金调整为14.69亿元，调整后募资净额将全部投入预设的五大项目。

募资用途：半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。

保荐机构：中信证券

上市意义

对企业自身

拓宽融资渠道，支撑产能与研发升级：此前恒运昌主要依靠自身经营积累投入研发与生产，上市后不仅能通过IPO募集14.69亿元资金，后续还可借助资本市场进行再融资。这些资金将用于智能化生产基地、前沿技术创新中心等项目建设，既能解决当前产能利用率达106.35%的产能缺口问题，还能推进新一代可支撑5纳米及以下制程产品的研发，为技术迭代和产能扩张提供稳定资金保障。

提升品牌影响力，增强客户合作底气：科创板上市的审核标准严苛，成功上市本身就是对其技术实力、经营规范性的权威认证。这能大幅提升恒运昌在行业内的知名度和公信力，一方面有助于其拓展北方等新市场区域，另一方面在对接更多国际客户、开展高端合作时，相比未上市企业更具竞争力，同时也能吸引行业内顶尖技术和管理人才加入。

完善治理结构，优化激励机制：上市后公司需遵循科创板的信息披露、公司治理等相关规则，建立更规范的现代化企业制度，降低经营管理风险。此外，还可通过股权激励等方式绑定核心员工利益，解决此前技术密集型企业常见的人才留存难题，为企业长期稳定发展筑牢基础。

对国内半导体产业链

加速核心零部件国产替代，打破国际垄断：长期以来等离子体射频电源系统被MKS、AE等海外巨头垄断，国产化率不足12%，恒运昌上市后借助资本加持，能进一步扩大量产规模、提升技术实力。其产品可承接晶圆厂进口设备的原位替换及维修业务，有效解决国内厂商采购成本高、交付慢、售后滞后等痛点，推动半导体设备“心脏”部件的国产化进程。

强化产业链韧性，保障供应链安全：半导体产业链自主可控是国内产业发展的关键目标，恒运昌的产品已批量供应拓荆科技、中微公司等头部设备商，并进入中芯国际等晶圆厂供应链。它上市后持续稳定的产能和技术输出，能减少国内半导体产业对海外供应链的依赖，避免极端情况下的断供风险，增强整个产业链的抗风险能力。

树立行业标杆，带动产业资本集聚：恒运昌作为国产等离子体射频电源系统领域首家量产出货过亿元的企业，其上市被业内视作国产半导体核心零部件企业冲刺资本市场的“风向标”。其成功经验或将吸引更多资本关注半导体核心零部件赛道，助力更多相关企业获得融资支持，形成技术攻关和产业升级的集群效应，推动整个行业高质量发展。

上市历程

上市辅导启动与完成（2024年1月-2025年3月）

2024年1月8日，恒运昌与中信证券签署上市辅导协议，正式开启IPO筹备工作;1月19日，该辅导协议获深圳证监局备案受理。

经过四期辅导后，恒运昌于2025年3月25日完成全部辅导工作，为后续递交IPO申请做好了合规性与规范性准备。

IPO申请递交与受理（2025年6月）

2025年6月13日，恒运昌正式递交科创板IPO申请，并当日获得上交所受理。此次申报使其成为同期18家科创板受理企业之一，且后续审核速度显著快于部分同批次企业。

遭遇现场检查与进入问询阶段（2025年7月）

7月3日，递表仅20天的恒运昌，被列入证监会2025年第二批首发企业现场检查抽查名单，这一情况曾引发外界对其业绩等相关情况的猜测。

7月6日，恒运昌进入科创板IPO问询阶段，开始面对监管层针对公司业务、技术、财务等多维度的细致问询。

完成两轮问询回复，逼近上会（2025年11月）

2025年11月5日，恒运昌悄然披露二轮问询回复。结合同期科创板拟上市企业的审核节奏，市场当时判断其距离上会已为时不远。其从递表到完成二轮问询回复，仅用时4个月零22天，整体审核进程较为顺畅。

上会通过并提交注册（2025年11月14日）

当天，上交所上市委召开2025年第54次审议会议，审议通过了恒运昌的科创板IPO申请。此次上会中，公司的成长性、业绩波动风险以及大客户依赖等问题成为监管层关注的核心要点。

同日晚间，恒运昌“闪电”提交注册，后续只需等待证监会完成注册程序，即可进入股票发行与挂牌上市的最终环节。