恒运昌IPO过会 将于上交所科创板上市

中国上市公司网讯 11月14日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(以下简称“恒运昌”或公司)首发申请获上交所通过，公司将登陆上交所科创板上市。

据悉，恒运昌本次公开发行新股数量不超过1,693.0559万股，占发行后总股本的比例不低于25%。公司本次拟使用募集资金金额146,900.00万元，主要用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。

公开资料显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

公司聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。与此同时，国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。

上市委会议现场问询的主要问题

1.请发行人代表结合发行人所在行业市场需求、主要客户收入占比、客户开拓等情况，说明公司是否具有较强成长性，相关业绩波动风险披露是否充分。请保荐代表人发表明确意见。

2.请发行人代表结合行业特点、客户集中度高、主要客户持有公司股份、与客户合作情况、在手订单及收入下滑等,说明公司与主要客户的业务是否影响公司的独立性，与主要客户的合作是否稳定、可持续。请保荐代表人发表明确意见。

上海证券交易所

上市审核委员会

2025年11月14日