| 简介 | 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。 |
| 主营业务 | 主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务。 |
IPO信息
| 股票代码 | 受理日期 | 2025-06-13 | |
| 股票简称 | 上会通过日期 | ||
| 上市板块 | 上交所科创板 | 提交注册日期 | |
| 发行价格(元/股) | 同意注册日期 | ||
| 发行市盈率 | 刊登发行公告日期 | ||
| 网上发行股数(万股) | 网上路演日期 | ||
| 战略配售发行数量(万股) | 网上发行日期 | ||
| 总发行数量(万股) | 中签号公布日期 | ||
| 网上发行中签率(%) | 上市日期 | ||
| 募集资金总额(亿元) |
基本资料及发行相关资料
| 公司名称 | 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 | 英文名称 | Shenzhen CSL Vacuum Science and TechnologyCo., Ltd. |
| 成立日期 | 2013 年 3 月 19 日 | 注册资本(人民币万元) | 5,077.1129 |
| 证监会行业分类 | C35 专用设备制造业 | 雇员总数(人) | 365（截至2024年12月31日） |
| 法人代表 | 乐卫平 | 董事长 | 乐卫平 |
| 总经理 | 乐卫平 | 董事会秘书 | 庄丽华 |
| 注册地址 | 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区 B 栋 101，201，301 | 办公地址 | 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区 B 栋 101，201，301 |
| 电话 | 0755-27813086 | 传真 | 0755-27813086 |
| 公司网址 | www.csl-vacuum.com | 电子邮件 | IR@csl-vacuum.com |
| 保荐人(主承销商) | 中信证券股份有限公司 | 保荐代表人 | 王纯然、曹阳 |
| 会计师事务所 | 天健会计师事务所（特殊普通合伙） | 经办会计师 | 康雪艳、孙惠 |
| 律师事务所 | 上海市锦天城律师事务所 | 经办律师 | 柯燕军、何子彬、彭雪珍 |
| 资产评估机构 | 中铭国际资产评估（北京）有限责任公司 | 经办评估人员 | 王秋月（已离职）、陈鹏 |
募集资金用途
| 项目 | 投资总额(万元) |
| 沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目 | 16,573.24 |
| 半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目 | 69,696.96 |
| 研发与前沿技术创新中心项目 | 36,267.07 |
| 营销及技术支持中心项目 | 12,378.86 |
| 补充流动资金 | 25,000.00 |
| 投资金额总计 | 159,916.13 |
前十大股东（发行前）
| 股东名称 | 持股数量(万股) | 占总股本比例(%) |
| 恒运昌投资 | 1,310.8051 | 25.8179 |
| 乐卫平 | 1,172.1312 | 23.0866 |
| 投资中心 | 1,054.9592 | 20.7787 |
| 国投创业 | 413.9245 | 8.1528 |
| 瑞芯基金 | 206.9622 | 4.0764 |
| 投资发展中心 | 161.9369 | 3.1895 |
| 拓荆科技 | 156.6612 | 3.0856 |
| 中电科 | 77.1129 | 1.5188 |
| 上海浦宸 | 77.1129 | 1.5188 |
| 上海国策 | 56.5512 | 1.1138 |
| 合计 | 4,688.1573 | 92.3389 |
行业内其他主要企业
| 公司名称 | 主要业务 | |
| MKS | MKS 成立于 1961 年，总部位于美国马萨诸塞州，是全球领先的等离子体射频电源系统供应商。MKS 主营业务系提供集前沿半导体制造、先进电子与特种工业三位一体的先进制造设备解决方案。在半导体领域，MKS 的产品矩阵丰富，覆盖半导体制造工艺中从反应气体控制与量测到硅片沉积、刻蚀、清洗等工艺链。2001 年收购 Emerson Electric 的 ENI 部门后，MKS 在等离子体射频电源及监控仪器上迅速抢占市场份额。2024 年，MKS 营业收入为 35.86 亿美元，中国大陆区域收入为 7.75 亿美元。 | |
| AE | AE 成立于 1981 年，总部位于美国科罗拉多州，是全球领先的等离子体射频电源系统供应商。AE 主营业务系为工业、医疗、半导体、数据中心计算及电信与网络等领域的应用提供精密的电源、传感和控制解决方案。在半导体领域，AE 覆盖了刻蚀、沉积、腔体清洗、检测、注入和退火等工艺环节，其中等离子体电源解决方案包括等离子体射频电源、射频匹配网络、远程等离子体源等产品，在等离子体射频电源全球市占率连续多年领先。2024 年，AE 营业收入为 14.82亿美元，中国大陆区域收入为 1.10 亿美元。 | |
| 霍廷格 | 霍廷格成立于 1922 年，总部位于德国弗莱堡，是半导体通用设备制造与激光设备供应商。1990 年，通快集团收购了霍廷格，并不断增加对功率电子设备的投入，以规模化其产品矩阵，其中重点发展直流/直流脉冲电源以及等离子体射频电源等。2023/24 财年，母公司通快集团营业收入为 51.73 亿欧元，中国大陆区域收入为 6.15 亿欧元。 | |
| DAIHEN | DAIHEN 成立于 1919 年，总部位于日本大阪，是工业自动化、机器人、变压器、电力设备等领域的全球领先企业之一。DAIHEN 主要从事电力设备、焊接机、工业机器人、等离子体射频电源、电动汽车充电系统等的生产、制造和销售。2023 财年其营业收入为 1,885.71 亿日元，来自亚洲区域（除日本）的营业收入为 278.81 亿日元。 | |
| 英杰电气 | 英杰电气成立于 1996 年，是专业的工业电源设计及制造企业，于 2020 年 2月 13 日在深交所创业板上市。公司主要专注于电力电子技术在工业各领域的应用，从事以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源设备的研发、生产与销售以及新能源汽车充电桩/站的研发、生产和销售。目前，其电源产品主要应用于光伏、半导体、新能源汽车、钢铁冶金、玻璃玻纤、科研等行业。 | |
| 华丞电子 | 北方华创全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司在 2020 年收购了北京北广科技股份有限公司射频应用技术相关资产。北京北广科技股份有限公司系前身建于 1950 年的北京广播器材厂，以射频技术和数字技术为核心，协同打造全频段、多功率、收发一体的系列智能无线电装备。 |
客户和供应商
| 前五大客户(2024年) | 前五大供应商(2024年) |
| 拓荆科技 | 供应商 S |
| 宏大真空 | 供应商 D |
| 中微公司 | 供应商 H |
| 北方华创 | 供应商 C |
| 微导纳米 | 供应商 K |
主要财务指标
| 财务指标/时间 | 2024年12月 | 2023年12月 | 2022年12月 |
| 总资产(元) | 801,988,232.61 | 628,096,067.78 | 216,493,912.85 |
| 净资产(元) | 682,934,486.51 | 538,383,540.87 | 154,758,868.69 |
| 少数股东权益(元) | – | – | – |
| 营业收入(元) | 540,790,338.75 | 325,268,486.91 | 158,158,046.51 |
| 净利润(元) | 143,149,276.29 | 80,535,782.88 | 26,389,737.71 |
| 资本公积(元) | 467,760,905.15 | 466,359,235.80 | 98,510,761.17 |
| 未分配利润(元) | 147,397,375.28 | 18,886,424.50 | 46,160,060.02 |
| 基本每股收益(元) | 2.82 | 1.64 | 不适用 |
| 稀释每股收益(元) | 2.82 | 1.64 | 不适用 |
| 每股现金流(元) | 1.96 | 0.90 | 不适用 |
| 净资产收益率(%) | 23.44 | 35.13 | 20.69 |
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| 恒运昌IPO被受理 拟于上交所科创板上市 |
